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High precision interferometric measurements with broad spectral sources : application for MEMS profilometry
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| Document type | Communication à un colloque (Conference Paper) – Présentation orale sans comité de sélection |
|---|---|
| Publication date | 2007 |
| Language | Anglais |
| Conference | "3rd Workshop on Optical Measurements Techniques OPTIMESS", Leuven (du 28 mai au 30 mai 2007) |
| Publication status | Publié |
| Affiliations |
UCL
- SC/PHYS - Département de physique UCL - FSA/ELEC - Département d'électricité |
| Links |
| Bibliographic reference | Cornet, Alain ; Raskin, Jean-Pierre ; Antoine, Philippe. High precision interferometric measurements with broad spectral sources : application for MEMS profilometry.3rd Workshop on Optical Measurements Techniques OPTIMESS (Leuven, du 28 mai au 30 mai 2007). |
|---|---|
| Permanent URL | http://hdl.handle.net/2078.1/93556 |