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3-D SOI MEMS for sensing applications

Bibliographic reference André, Nicolas ; Raskin, Jean-Pierre ; Francis, Laurent. 3-D SOI MEMS for sensing applications.3ème Colloque du Laboratoire International Associé « Nanotechnologies & Nanosystèmes (Sherbrooke (Canada), du 12/07/2010 au 16/07/2010). In: Proceedings du 3ème Colloque du Laboratoire International Associé « Nanotechnologies & Nanosystèmes, 2010, p. 88
Permanent URL http://hdl.handle.net/2078.1/86798