User menu

Messung der 3D-Topographie von Sensoren in Mikrosystemtechnik

Bibliographic reference André, Nicolas ; Sobieski, Stanislas ; Francis, Laurent ; Raskin, Jean-Pierre. Messung der 3D-Topographie von Sensoren in Mikrosystemtechnik. In: MessTec, no. 01-02, p. 22 (2009)
Permanent URL http://hdl.handle.net/2078.1/85644