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La technologie MEMS au service de l'extraction des propriétés mécaniques des matériaux aux échelles micro et nano

Bibliographic reference Pardoen, Thomas ; Raskin, Jean-Pierre. La technologie MEMS au service de l'extraction des propriétés mécaniques des matériaux aux échelles micro et nano.ISTM Seminar - Maîtrise et caractérisation locale de microstructures dans les lignes d'interconnexions cuivre, ENSEEG (Grenoble, France, 2006). In: Proceedings of the ISTM Seminar, 2006
Permanent URL http://hdl.handle.net/2078.1/76609