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Fabrication and modeling of 3-D self-assembled SOI MEMS using plasticity features
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| Document type | Communication à un colloque (Conference Paper) – Présentation orale avec comité de sélection |
|---|---|
| Publication date | 2005 |
| Language | Anglais |
| Conference | "18th IEEE International Conference on MicroElectroMechanical Systems - MEMS 2005", Miami, Floride, USA (January 30-February 3 2005) |
| Peer reviewed | yes |
| Host document | "Proceedings "- p. 459-462 |
| Publication status | Publié |
| Affiliations |
UCL
- FSA/ELEC - Département d'électricité UCL - FSA/MAPR - Département des sciences des matériaux et des procédés |
| Links |
| Bibliographic reference | Iker, François ; André, Nicolas ; Proost, Joris ; Pardoen, Thomas ; Raskin, Jean-Pierre. Fabrication and modeling of 3-D self-assembled SOI MEMS using plasticity features.18th IEEE International Conference on MicroElectroMechanical Systems - MEMS 2005 (Miami, Floride, USA, January 30-February 3 2005). In: Proceedings , 2005, p. 459-462 |
|---|---|
| Permanent URL | http://hdl.handle.net/2078.1/70910 |