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Co-intégration de nouvelles techniques de micro-fabrication et du procédé CMOS/SOI standard en vue de réaliser des microsystèmes

Bibliographic reference Laconte, J. ; Akheyar, A. ; Parvais, B. ; Afzalian, A. ; Dupont, C. ; et. al. Co-intégration de nouvelles techniques de micro-fabrication et du procédé CMOS/SOI standard en vue de réaliser des microsystèmes.Les MEMS : quelles compétences pour quels secteurs en Wallonie ? (Casteau Resort Hotel, Mons (Belgium), 26/01/2001).
Permanent URL http://hdl.handle.net/2078.1/240315