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Influence des paramètres de la décharge électrique sur la vitesse de décomposition d'un gaz : analyse du comportement du Silane dilué dans l'Argon

Bibliographic reference Nolet, G.. Influence des paramètres de la décharge électrique sur la vitesse de décomposition d'un gaz : analyse du comportement du Silane dilué dans l'Argon.  Prom. :
Permanent URL https://hdl.handle.net/2078.1/233705