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Conformal atomic layer deposition of oxides in high aspect ratio macroporous silicon layer

Bibliographic reference Rasson, Jonathan ; Poncelet, Olivier ; Francis, Laurent. Conformal atomic layer deposition of oxides in high aspect ratio macroporous silicon layer.2ièmes Journées SemiConducteurs et Oxydes Poreux (Montpellier, du 25/06/2015 au 26/06/2015).
Permanent URL http://hdl.handle.net/2078.1/162037