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Encapsulation de capteurs MEMS co-intégrés CMOS : quand relâcher ?

Bibliographic reference Francis, Laurent ; Stoukatch, Serguei ; Walewyns, Thomas ; Tooten, Ester ; Axisa, Fabrice ; et. al. Encapsulation de capteurs MEMS co-intégrés CMOS : quand relâcher ?.Colloque 9 - Nanotechnologies : nouveaux paradigmes associés à l'intégration 3D et à l'encapsulation, 27èmes entretien avec Jacques Cartier (Québec (Canada), 06/10/2014).
Permanent URL http://hdl.handle.net/2078.1/151673