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Polyimide as versatile enabling material for microsystems fabrication: electrodeposited nanowires integration and surface micromachining
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Walewyns, Thomas
[UCL]
Reckinger, Nicolas
[UCL]
Ryelandt, Sophie
[UCL]
Pardoen, Thomas
[UCL]
Raskin, Jean-Pierre
[UCL]
Francis, Laurent
[UCL]
| Document type | Communication à un colloque (Conference Paper) – Présentation orale avec comité de sélection |
|---|---|
| Access type | Accès restreint |
| Publication date | 2012 |
| Language | Anglais |
| Conference | "5ème Colloque du Laboratoire International Associé “Nanotechnologies & Nanosystèmes", Orford (Québec) (du 15/07/2012 au 18/07/2012) |
| Peer reviewed | yes |
| Host document | "Proceedings du 5ème Colloque du Laboratoire International Associé “Nanotechnologies & Nanosystèmes"- p. 103 - Paper GE21 |
| Publication status | Publié |
| Affiliation | UCL - Autre |
| Keywords | NANO |
| Links |
| Bibliographic reference | Walewyns, Thomas ; Reckinger, Nicolas ; Ryelandt, Sophie ; Pardoen, Thomas ; Raskin, Jean-Pierre ; et. al. Polyimide as versatile enabling material for microsystems fabrication: electrodeposited nanowires integration and surface micromachining.5ème Colloque du Laboratoire International Associé “Nanotechnologies & Nanosystèmes (Orford (Québec), du 15/07/2012 au 18/07/2012). In: Proceedings du 5ème Colloque du Laboratoire International Associé “Nanotechnologies & Nanosystèmes, 2012, p. 103 - Paper GE21 |
|---|---|
| Permanent URL | http://hdl.handle.net/2078/123674 |