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SOI co-integrated microsensors
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| Document type | Communication à un colloque (Conference Paper) – Présentation orale avec comité de sélection |
|---|---|
| Publication date | 2007 |
| Language | Anglais |
| Conference | "7th MEMUNITY - The MEMS Test Community - Workshop", Eindhoven, The Netherlands (du 23/10/2007 au 24/10/2007) |
| Peer reviewed | yes |
| Host document | "Proceedings of the 7th MEMUNITY - The MEMS Test Community - Workshop"- Paper 10 |
| Publication status | Publié |
| Affiliation | UCL - FSA/ELEC - Département d'électricité |
| Links |
| Bibliographic reference | Olbrechts, Benoit ; André, Nicolas ; Rue, Bertrand ; Flandre, Denis ; Raskin, Jean-Pierre. SOI co-integrated microsensors.7th MEMUNITY - The MEMS Test Community - Workshop (Eindhoven, The Netherlands, du 23/10/2007 au 24/10/2007). In: Proceedings of the 7th MEMUNITY - The MEMS Test Community - Workshop, 2007, p.Paper 10 |
|---|---|
| Permanent URL | http://hdl.handle.net/2078.1/123405 |