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Capteurs MEMS tridimensionnels en technologie Silicium
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| Document type | Communication à un colloque (Conference Paper) – Poster |
|---|---|
| Publication date | 2007 |
| Language | Français |
| Conference | "Pôle de compétitivité MECATECH – Journée de Rencontre Entreprises-Laboratoires", Louvain-la-Neuve, Belgium (14/06/2007) |
| Peer reviewed | yes |
| Host document | "Pôle de compétitivité MECATECH – Journée de Rencontre Entreprises-Laboratoires" |
| Publication status | Publié |
| Affiliation | UCL - FSA/ELEC - Département d'électricité |
| Links |
| Bibliographic reference | André, Nicolas ; Sobieski, Stanislas ; Flandre, Denis ; Raskin, Jean-Pierre. Capteurs MEMS tridimensionnels en technologie Silicium.Pôle de compétitivité MECATECH – Journée de Rencontre Entreprises-Laboratoires (Louvain-la-Neuve, Belgium, 14/06/2007). In: Pôle de compétitivité MECATECH – Journée de Rencontre Entreprises-Laboratoires, 2007 |
|---|---|
| Permanent URL | http://hdl.handle.net/2078.1/123297 |