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Capteurs MEMS tridimensionnels en technologie Silicium

Bibliographic reference André, Nicolas ; Sobieski, Stanislas ; Flandre, Denis ; Raskin, Jean-Pierre. Capteurs MEMS tridimensionnels en technologie Silicium.Pôle de compétitivité MECATECH – Journée de Rencontre Entreprises-Laboratoires (Louvain-la-Neuve, Belgium, 14/06/2007). In: Pôle de compétitivité MECATECH – Journée de Rencontre Entreprises-Laboratoires, 2007
Permanent URL http://hdl.handle.net/2078.1/123297