User menu

La technologie MEMS au service de l’extraction des propriétés mécaniques des matériaux aux échelles micro et nano

Bibliographic reference Pardoen, Thomas ; Raskin, Jean-Pierre. La technologie MEMS au service de l’extraction des propriétés mécaniques des matériaux aux échelles micro et nano.ISTM Seminar - Maîtrise et caractérisation locale de microstructures dans les lignes d’interconnexions cuivre (Grenoble, France, 18/01/2007). In: Proceedings of the ISTM Seminar - Maîtrise et caractérisation locale de microstructures dans les lignes d’interconnexions cuivr, 2007
Permanent URL http://hdl.handle.net/2078.1/123284