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Study of the Sputter Rate of Thin Aluminum Layers Deposited On Polymer (pet) Substrates
Onglets principaux
| Type de document | Article de périodique (Journal article) – Article de recherche |
|---|---|
| Type d'accès | Accès restreint |
| Année de publication | 1989 |
| Langue | Anglais |
| Information sur le périodique | "Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms" - Vol. 39, no. 1-4, p. 86-90 (1989) |
| Peer reviewed | oui |
| Editeur | Elsevier Science Bv (Amsterdam) |
| issn | 0168-583X |
| e-issn | 1872-9584 |
| Statut de la publication | Publié |
| Affiliations | UCL - FSA/MAPR - Département des sciences des matériaux et des procédés |
| Liens |
| Référence bibliographique | Depuydt, Y. ; Bertrand, Patrick. Study of the Sputter Rate of Thin Aluminum Layers Deposited On Polymer (pet) Substrates. In: Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, Vol. 39, no. 1-4, p. 86-90 (1989) |
|---|---|
| Permalien | http://hdl.handle.net/2078.1/52521 |