Accès à distance ? S'identifier sur le proxy UCLouvain
Nondestructive Characterization of Soi Wafers Using Spectroscopic Reflectometry
Onglets principaux
| Type de document | Article de périodique (Journal article) |
|---|---|
| Type d'accès | Accès restreint |
| Année de publication | 1993 |
| Langue | Anglais |
| Information sur le périodique | "Solid-State Electronics" - Vol. 36, no. 8, p. 1213-1216 (1993) |
| Peer reviewed | oui |
| Editeur | Pergamon-elsevier Science Ltd (Oxford) |
| issn | 0038-1101 |
| e-issn | 1879-2405 |
| Affiliations | UCL |
| Liens |
| Référence bibliographique | Smeys, P. ; Magnusson, U. ; Colinge, JP.. Nondestructive Characterization of Soi Wafers Using Spectroscopic Reflectometry. In: Solid-State Electronics, Vol. 36, no. 8, p. 1213-1216 (1993) |
|---|---|
| Permalien | http://hdl.handle.net/2078.1/49640 |