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La technologie MEMS au service de l’extraction des propriétés mécaniques des matériaux aux échelles micro et nano
Onglets principaux
| Type de document | Communication à un colloque (Conference Paper) – Conférence invitée / Keynote |
|---|---|
| Année de publication | 2007 |
| Langue | Français |
| Conférence | "ISTM Seminar - Maîtrise et caractérisation locale de microstructures dans les lignes d’interconnexions cuivre", Grenoble, France (18/01/2007) |
| Peer reviewed | oui |
| Document hôte | "Proceedings of the ISTM Seminar - Maîtrise et caractérisation locale de microstructures dans les lignes d’interconnexions cuivr" |
| Statut de la publication | Publié |
| Affiliations | UCL - FSA/ELEC - Département d'électricité |
| Liens |
| Référence bibliographique | Pardoen, Thomas ; Raskin, Jean-Pierre. La technologie MEMS au service de l’extraction des propriétés mécaniques des matériaux aux échelles micro et nano.ISTM Seminar - Maîtrise et caractérisation locale de microstructures dans les lignes d’interconnexions cuivre (Grenoble, France, 18/01/2007). In: Proceedings of the ISTM Seminar - Maîtrise et caractérisation locale de microstructures dans les lignes d’interconnexions cuivr, 2007 |
|---|---|
| Permalien | http://hdl.handle.net/2078.1/123284 |