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Messung der 3D-Topographie von Sensoren in Mikrosystemtechnik
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André, Nicolas
[UCL]
Sobieski, Stanislas
[UCL]
Francis, Laurent
[UCL]
Raskin, Jean-Pierre
[UCL]
Raskin, Jean-Pierre
[UCL]
| Document type | Article de périodique (Journal article) – Article de recherche |
|---|---|
| Publication date | 2009 |
| Language | Allemand |
| Journal information | "MessTec" - no. 01-02, p. 22 (2009) |
| Peer reviewed | yes |
| issn | 1431-9934 |
| Publication status | Publié |
| Affiliation | UCL - FSA/ELEC - Département d'électricité |
| Links |
| Bibliographic reference | André, Nicolas ; Sobieski, Stanislas ; Francis, Laurent ; Raskin, Jean-Pierre. Messung der 3D-Topographie von Sensoren in Mikrosystemtechnik. In: MessTec, no. 01-02, p. 22 (2009) |
|---|---|
| Permanent URL | http://hdl.handle.net/2078.1/85644 |