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Fabrication and modeling of 3-D self-assembled SOI MEMS controlled by thermal and plastic strains
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| Document type | Communication à un colloque (Conference Paper) – Présentation orale avec comité de sélection |
|---|---|
| Publication date | 2005 |
| Language | Anglais |
| Conference | "IEEE MEMS 2005", Miami, Florida, USA (du 29/01/2005 au 03/02/2005) |
| Peer reviewed | yes |
| Host document | "Proceedings of MEMS 2005"- p. 459-462 |
| Publication status | Publié |
| Affiliations |
UCL
- FSA/ELEC - Département d'électricité UCL - FSA/MAPR - Département des sciences des matériaux et des procédés |
| Links |
| Bibliographic reference | Iker, François ; André, Nicolas ; Proost, Joris ; Pardoen, Thomas ; Raskin, Jean-Pierre. Fabrication and modeling of 3-D self-assembled SOI MEMS controlled by thermal and plastic strains.IEEE MEMS 2005 (Miami, Florida, USA, du 29/01/2005 au 03/02/2005). In: Proceedings of MEMS 2005, 2005, p. 459-462 |
|---|---|
| Permanent URL | http://hdl.handle.net/2078.1/76616 |