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MEMS microstructures for the nanomechanical characterization of thin films
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Boé, A.
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Safi, A.
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Coulombier, Michaël
[UCL]
Pardoen, Thomas
[UCL]
Raskin, Jean-Pierre
[UCL]
Pardoen, Thomas
[UCL]
Raskin, Jean-Pierre
[UCL]
| Document type | Communication à un colloque (Conference Paper) – Présentation orale avec comité de sélection |
|---|---|
| Publication date | 2008 |
| Language | Anglais |
| Conference | "International Conference on Multifunctional Materials and Structures", Hong-Kong, Chine (du 28/07/2008 au 31/07/2008) |
| Peer reviewed | yes |
| Host document | "Proceedings of the International Conference on Multifunctional Materials and Structures"- p. paper # MF382 |
| Publication status | Publié |
| Affiliations |
UCL
- FSA/MAPR - Département des sciences des matériaux et des procédés UCL - FSA/ELEC - Département d'électricité |
| Links |
| Bibliographic reference | Boé, A. ; Safi, A. ; Coulombier, Michaël ; Pardoen, Thomas ; Raskin, Jean-Pierre. MEMS microstructures for the nanomechanical characterization of thin films.International Conference on Multifunctional Materials and Structures (Hong-Kong, Chine, du 28/07/2008 au 31/07/2008). In: Proceedings of the International Conference on Multifunctional Materials and Structures, 2008, p. paper # MF382 |
|---|---|
| Permanent URL | http://hdl.handle.net/2078.1/76593 |