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Effect of Cu on Al interfacial mass transport in bamboo RIE and damascene Al(Cu)
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| Document type | Communication à un colloque (Conference Paper) – Présentation orale avec comité de sélection |
|---|---|
| Publication date | 1999 |
| Language | Anglais |
| Conference | "Materials Research Society Symposium", San Francisco - CA (1999) |
| Peer reviewed | yes |
| Host document | "Proceedings "- p. 563, 91 |
| Affiliation | UCL - |
| Links |
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| Bibliographic reference | Proost, Joris ; Li, H. ; Witvrouw, A. ; Maex, K.. Effect of Cu on Al interfacial mass transport in bamboo RIE and damascene Al(Cu).Materials Research Society Symposium (San Francisco - CA, 1999). In: Proceedings , 1999, p. 563, 91 |
|---|---|
| Permanent URL | http://hdl.handle.net/2078/70947 |