Etude des propriétés mécaniques de films minces via des essais "Push-to-pull" in-situ sous TEM : développement d’un support pour films minces de cuivre par les techniques de micro-fabrication

Ce mémoire s’inscrit à la suite des différents travaux effectués dans le cadre de l’étude des propriétés mécaniques des matériaux à l’échelle nanoscopique et microscopique. Actuellement, de nombreuses applications technologiques font appel à l’utilisation de films minces comme les composantes électroniques dont les dimensions deviennent de plus en plus petites. Mais cette échelle de grandeur va dès lors avoir un impact non négligeable sur les propriétés du matériau dont est composé le film mince vis-à-vis de ce même matériau à l’échelle macroscopique. Pour comprendre ces différences dans le comportement notamment mécanique, de nombreux tests mécaniques ont été développé pour ces films minces et notamment la méthode de test appelée "Push-to-pull". Il s’agit d’un essai de traction effectué in-situ au sein d’un microscope électronique en transmission (TEM) qui permet non seulement de mesurer la déformation du film en question mais également de visualiser en direct le comportement structurel de celui-ci sous la contrainte. Ce type d’essai présente néanmoins certains challenges vis à vis du déplacement, de la manipulation et du maintien des échantillons notamment pour des films très minces. Pour ce faire, l’objectif de ce rapport est de développer un tel support suffisamment rigide pour porter ces films minces par micro-fabrication.